本研究部会の部会長、幹事は以下の通りです。
| 部会長 | 鈴木 峰晴 | 国立研究開発法人 物質・材料研究機構 |
| 幹事 | 阿部 芳巳 | 三菱ケミカル株式会社 |
| 岩井 秀夫 | 国立研究開発法人 物質・材料研究機構 | |
| 笹川 薫 | 筑波大学 数理物質系 | |
| 田沼 繁夫 | 国立研究開発法人 物質・材料研究機構 | |
| 永富 隆清 | 旭化成株式会社 | |
| 柳内 克昭 | TDK株式会社 | |
| 吉川 英樹 | 国立研究開発法人 物質・材料研究機構 | |
| 吉原 一紘 | シエンタ オミクロン株式会社 |
（2018.5.1現在）
©Division of Surface Analysis, The Japan Society of Vacuum and Surface Science, All rights reserved.